干式真空泵代理:干式真空泵的应用

2019-04-10  来自: 青州汇发真空设备有限公司 浏览次数:176

    干式真空泵代理:干式真空泵的应用

    

 下面就由小编来给大家详细介绍下干式真空泵的应用吧,分为几下几个方面:

1.低压化学气相沉积中的多晶硅 制备工艺中;

2.用做一般清洁真空系统的前级泵,以阻止油污染;

3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用型式的干式机械真空泵可以适合要求;

4.半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和 研磨微粒;

5.在化学工业、食品工业中的 蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要阻止溶剂造成污染,适合用干式真空泵。

  以上就是干式真空泵的应用了,如想了解干式真空泵行情,可致电联系我们!

关键词: 干式真空泵代理   干式真空泵